技術(shù)資源
電子束 3D 打印高壓電源環(huán)保型設(shè)計(jì)
電子束 3D 打印高壓電源的環(huán)保型設(shè)計(jì)需貫穿全生命周期,從材料選型、能耗優(yōu)化到廢棄回收,實(shí)現(xiàn)環(huán)境影響最小化。傳統(tǒng)高壓電源存在絕緣材料
電子束增材高壓電源負(fù)載適應(yīng)性測試
在電子束增材制造過程中,高壓電源的負(fù)載適應(yīng)性直接決定了打印件的質(zhì)量穩(wěn)定性與工藝兼容性。由于增材過程中材料熔融速率、電子束聚焦位置的
電子束高壓電源低噪聲驅(qū)動(dòng)技術(shù)
電子束設(shè)備對(duì)電源噪聲極為敏感 —— 高壓電源的開關(guān)噪聲(頻率 20kHz-1MHz)、電磁干擾(EMI)會(huì)疊加在輸出電壓中,導(dǎo)致電子束偏轉(zhuǎn)誤差
曝光機(jī)高壓電源能效分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
隨著半導(dǎo)體行業(yè) 雙碳 目標(biāo)推進(jìn),曝光機(jī)高壓電源(年耗電量超 1 萬度 臺(tái))的能效成為關(guān)鍵指標(biāo),但當(dāng)前行業(yè)缺乏統(tǒng)一分級(jí)標(biāo)準(zhǔn),導(dǎo)致廠
曝光機(jī)高壓電源負(fù)載突變應(yīng)對(duì)策略
曝光機(jī)在光刻工藝切換(如晶圓批次更換、圖形密度變化)時(shí),高壓電源負(fù)載會(huì)出現(xiàn)突發(fā)波動(dòng)(負(fù)載率從 20% 驟升至 90% 或反之),導(dǎo)致輸出
電子束高壓電源智能散熱控制
電子束設(shè)備(如電子束蒸發(fā)、電子束光刻)的高壓電源(輸出電壓常達(dá)數(shù)十 kV)在運(yùn)行中,功率模塊(如高壓變壓器、整流橋)會(huì)產(chǎn)生大量熱量,
曝光機(jī)高壓電源壽命預(yù)測模型
曝光機(jī)高壓電源作為半導(dǎo)體光刻工藝的核心動(dòng)力單元,其壽命直接影響設(shè)備稼動(dòng)率與生產(chǎn)良率。傳統(tǒng)壽命評(píng)估多依賴經(jīng)驗(yàn)值,存在預(yù)警滯后、維護(hù)盲
高頻高壓交流電源的波形優(yōu)化策略
高頻高壓交流電源在現(xiàn)代工業(yè)、科研和醫(yī)療設(shè)備中扮演著核心角色,但其波形質(zhì)量直接決定了電源的性能與應(yīng)用效果。波形失真、諧波干擾和電磁噪