技術(shù)資源
電鏡高壓電源超導(dǎo)量子干涉儀供電
一、應(yīng)用背景與技術(shù)需求電子顯微鏡（如透射電鏡 TEM、掃描電鏡 SEM）是材料微觀結(jié)構(gòu)表征的核心設(shè)備，其分辨率與加速電壓穩(wěn)定性直接相關(guān)；
蝕刻設(shè)備高壓電源工藝窗口智能尋優(yōu)技術(shù)及應(yīng)用
蝕刻工藝是半導(dǎo)體制造中 圖形轉(zhuǎn)移 的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，需通過高壓電源驅(qū)動等離子體（如 CF4、O2 等離子體）對晶圓表面材料進行選擇性刻蝕，而
準(zhǔn)分子激光高壓電源放電通道智能調(diào)節(jié)技術(shù)及應(yīng)用
準(zhǔn)分子激光（如 KrF、ArF 激光）因短波長（193-248nm）、高能量密度特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻、精密材料加工及醫(yī)療激光領(lǐng)域，而高壓電
光刻機高壓電源多諧振腔協(xié)同穩(wěn)壓技術(shù)及應(yīng)用
在先進半導(dǎo)體制造中，光刻機作為 芯片印鈔機，其曝光精度直接決定芯片制程極限，而高壓電源作為光刻光源（如極紫外光 EUV）的能量核心，
離子注入高壓電源脈沖波形遺傳算法優(yōu)化
離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體制造中實現(xiàn)精準(zhǔn)摻雜的核心工藝，離子注入高壓電源輸出的脈沖波形參數(shù)（如幅值、脈寬、上升沿 下降沿時間）直接影
熔融增材高壓電源高頻變壓器設(shè)計
一、引言熔融增材制造技術(shù)（如選擇性激光熔化、電子束熔融）通過高能束熔化金屬粉末實現(xiàn)零件成型，高壓電源作為高能束發(fā)生裝置的能量核心，
電子束 3D 打印電源模糊 PID 控制研究
一、引言電子束 3D 打印技術(shù)憑借高能量密度、高成型精度的優(yōu)勢，在高端制造領(lǐng)域（如航空航天、醫(yī)療植入體）應(yīng)用廣泛，而高壓電源作為電子