技術資源

智能電源推動芯片產(chǎn)線升級

智能電源是推動現(xiàn)代芯片生產(chǎn)線向工業(yè)4 0升級的關鍵技術。這里的智能不僅僅指電源具備數(shù)字控制接口，而是指電源系統(tǒng)內(nèi)部集成了先進的感知、

高壓電源市場競爭格局解析

高壓電源市場并非單一同質(zhì)化的市場，而是由一系列高專業(yè)化、高壁壘的細分領域構(gòu)成的復雜格局。市場競爭的核心要素并非簡單的價格戰(zhàn)，而是圍

半導體設備電源國產(chǎn)化加速

半導體設備電源的國產(chǎn)化加速并非僅是市場或政策驅(qū)動的簡單替代過程，它本質(zhì)上是一場在高可靠性、高精度和苛刻運行環(huán)境下的技術攻堅戰(zhàn)。成功

高壓電源賦能晶圓制造新格局

高壓電源是晶圓制造核心設備的心臟，其性能直接決定了半導體工藝的精度、重復性和良率。在集成電路制造的新格局中，對電源的要求已從簡單的

高壓電源系統(tǒng)的EMC抑制研究

高壓電源系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）抑制是確保其在敏感工業(yè)和科研環(huán)境中可靠運行的關鍵技術。與低壓系統(tǒng)不同，高壓系統(tǒng)不僅涉及傳導和輻射干

面向EUV設備的電源設計要點

極紫外（EUV）光刻是當代半導體制造中最先進的技術，其能量系統(tǒng)復雜且要求極高。EUV設備中的電源不僅需提供高電壓、高頻率與高穩(wěn)定度輸出，

精密穩(wěn)壓技術提升晶圓品質(zhì)

在晶圓制造過程中，電壓穩(wěn)定度是影響工藝一致性與晶圓品質(zhì)的關鍵因素之一。無論是光刻、刻蝕、沉積還是拋光環(huán)節(jié)，供電系統(tǒng)的穩(wěn)壓性能都直接

高壓電源在離子注入機中的角色

離子注入是半導體制造中改變晶圓電性特征的關鍵工藝，其核心在于將帶電粒子以高能形式植入硅晶體中。實現(xiàn)這一過程需要高壓電源提供穩(wěn)定且可

節(jié)能型高壓電源的拓撲優(yōu)化

高壓電源在半導體制造設備中的能耗占比不斷上升，如何在保證高性能輸出的同時降低能量損耗，成為設計優(yōu)化的重點。節(jié)能型高壓電源的實現(xiàn)依賴