技術(shù)資源
自學習高壓電源在電子束打印系統(tǒng)中的優(yōu)化
電子束打印（EB-PBF）對高壓電源要求極為嚴苛：60-150kV加速電壓紋波<30ppm、束流響應(yīng)<200μs、殘余磁場<0 3μT、長時間能量漂移<80ppm
高壓電源在科學實驗裝置的遠程監(jiān)控技術(shù)
大型科學實驗裝置（如同步輻射光源、散裂中子源、自由電子激光、聚變實驗裝置）的高壓電源往往分布在數(shù)百米甚至數(shù)公里的地下隧道或屏蔽體內(nèi)
清洗機電源模塊化布局提升靈活性
晶圓清洗設(shè)備形態(tài)從批次槽式到單片噴淋再到干濕法組合，工藝需求千變?nèi)f化，傳統(tǒng)固定式電源布局已無法適應(yīng)快速迭代的節(jié)點要求。模塊化布局以
高壓電源驅(qū)動清洗產(chǎn)線自動化
晶圓清洗產(chǎn)線正從人工看守的少人化邁向真正的無人化運行，高壓電源作為能量與信息的雙重載體，已成為驅(qū)動這一轉(zhuǎn)變的核心引擎。它不僅提供高
清洗機電源智能化控制升級路徑
晶圓清洗機電源正從傳統(tǒng)模擬控制向全數(shù)字、自適應(yīng)、工藝閉環(huán)的智能化控制體系全面升級，整個升級路徑分為感知層、執(zhí)行層、決策層三個遞進階
高壓電源故障自診斷系統(tǒng)設(shè)計方案
高壓電源一旦故障往往導(dǎo)致整臺數(shù)億元設(shè)備的長時間停機，傳統(tǒng)板子壞了換板子的粗放維護已無法滿足7×24小時先進產(chǎn)線要求。最新故障自診
納秒脈沖高壓電源的智能調(diào)控方法
納秒脈沖高壓電源主要用于先進刻蝕、離子注入調(diào)制與EUV光源預(yù)脈沖等領(lǐng)域，脈寬常在50-800ns，上升沿要求小于15ns，幅度抖動小于0 3%，平頂
智能高壓電源在增材制造中的應(yīng)用
金屬增材制造（即金屬3D打印）對高壓電源提出了一系列極端要求：電子束功率需在數(shù)秒內(nèi)從0跳變至60kW，束斑位置毫秒級精確可控，加速電壓穩(wěn)
AI輔助電源模塊的功率分配優(yōu)化
在多模塊并聯(lián)的高壓電源系統(tǒng)中，傳統(tǒng)均流控制依賴模擬反饋環(huán)路，存在響應(yīng)滯后、負載突變時環(huán)流大、長期運行后模塊間參數(shù)漂移等問題，導(dǎo)致部