技術(shù)資源
智能化靜電卡盤電源的反饋控制研究
靜電卡盤（ESC）電源電壓通常在3-12kV，電流僅微安至毫安級，但對電壓紋波、響應(yīng)速度、殘余電荷消除能力要求極端苛刻，傳統(tǒng)開環(huán)或簡單PID控
極高壓電源的智能絕緣監(jiān)測方法
極高壓電源工作電壓常達300kV-3000kV，絕緣系統(tǒng)一旦劣化將引發(fā)災(zāi)難性擊穿，傳統(tǒng)定期停機油色譜、局放測試已無法滿足7×24小時連續(xù)運行
高功率脈沖電源的AI散熱控制策略
高功率脈沖電源在刻蝕、離子注入、EUV光源等場景下瞬時功率可達數(shù)兆瓦，平均功率卻僅幾十至幾百千瓦，傳統(tǒng)固定轉(zhuǎn)速風冷或恒流液冷已完全無
高壓電源優(yōu)化離子注入產(chǎn)線效率
離子注入作為半導(dǎo)體前道核心工序，其設(shè)備節(jié)拍與可用率直接決定整條產(chǎn)線的吞吐能力，而高壓電源的動態(tài)性能、可靠性與智能化程度往往成為效率
離子注入機電源智能化管理方案
離子注入機電源管理已從傳統(tǒng)面板操作走向全生命周期智能化，系統(tǒng)不再是被動執(zhí)行電壓指令，而是成為主動參與工藝優(yōu)化、預(yù)測維護、能量管理的
離子注入機電源模塊化發(fā)展趨勢
離子注入機高壓電源功率從300kW到2MW不等，電壓覆蓋10kV-3000kV，傳統(tǒng)一體式設(shè)計已無法滿足高可靠性、可維護性與柔性擴展需求。模塊化正成
高壓電源驅(qū)動封測設(shè)備精度提升
在集成電路封測環(huán)節(jié)中，測試設(shè)備的精度直接決定了芯片的良率和可靠性，而高壓電源作為核心驅(qū)動部件，其性能的優(yōu)提升往往能帶來測試精度的顯